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千级洁净烤箱
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产品用途 Product Usage

采用独特的内外舱一体结构,结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的洁净无尘高温烘烤环境。产品具有内部洁净,自身不产尘,控温精准,温场分布均匀等众多优点,广泛应用于精密电子制造,半导体晶圆制造,大规模集成电路,生物制造、洁净实验室、航天航空等众多工业领域。

风路循环种类 Type of Wind Circulation

     结构设计  Structure & Design

  • 本设备包含钣金箱体、加热系统、热风循环系统,温度控制系统、过滤系统、充氮系统、安全保护系统。采用先进的钣金焊接加工技术,结合工业级智能精密控温技术,采用环保节能设计,进口耐高温过滤器,设备密封性好、机械强度高、高洁净度、易操控、高稳定性、安全性,符合国际审美观的标准化整体式结构箱体;具有操作简便、控制系统自动化程度高、系统运行稳定、无故障运行时间长等优点,产品达到国内先进水平。

  • 外箱体材料使用1.2mm厚度3A冷轧钢板静电双面喷塑。内胆材料使用1.2mm~1.5mm厚SUS304#镜面洁净不锈钢板。绝热保温材料使用100mm厚120K高密度硅酸铝纤维保温材料。使用进口温度控制器,控温精度0.3级,温度分辨率±0.1℃,PID智能演算,自动恒温,超温抑制,传感器断线警报,断电记忆,控温精准,操控简便,可选程序控温功能或液晶屏幕显示。

  • 采用耐高温高效过滤器,过滤等级H13(99.95% -99.99% @0.3um)。配置进口耐高温超细纤维芯材,连续耐温300℃,不锈钢外框,铝箔隔层,进口高温陶瓷胶密封。门边框配置玻璃纤维耐高温密封条。当设备开启,热风循环系统启动,热风循环通过高效过滤器H.E.P.A实现箱内自净化。

     技术参数 Parameters (以下参数为定制款)

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